氢气使用要求
1、新安装或大修后的氢气系统必须做耐压实验、清洗和气密实验，符合有关的检验要求，才能投入使用。 2、氢气系统检修或检验作业应制定作业方案及隔离、臵换、通风等安全防护措施，并经设备科、生技科审批。
3、氢气系统动火检修，必须---系统内部和动火区域氢气的l高含量不超过0.4%（体积）。
4、氢气使用区域应通风---，---空气中氢气l高含量不超过1%（体积）。
5、禁止将氢气系统内的氢气排放在建筑物内部。
6、进入氢气区域应穿防静电或棉布服装。
7、防止明火和其他激发能源进入禁火区域，禁止使用电炉、电钻等一切产生明火、高温的工具和热物体；不得携带火种进入禁火区。
高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，特种气体，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯---置换。
3.出气速率
材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
4.吸附性
由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。
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